创新研磨抛光耗材:驱动半导体产业迈向更高精密度
在半导体产业,对「高精密度」的追求从未止步。从早期微米级制程走向现在的3nm、2nm先进节点,晶片设计日益复杂,结构日趋微缩,而对制程中每一项环节的要求也随之提高,尤其是晶圆表面的平坦度与缺陷控制,成为决定成品良率与可靠度的关键。
传统上,研磨抛光耗材常被视为配角,辅助完成化学机械平坦化(CMP)与其他相关制程步骤。然而,在今日这个「原子级精度」为目标的时代,这些耗材早已不再只是辅助角色,而是驱动制程品质提升、支撑技术节点向前推进的核心推手。耗材的创新与性能,已深刻影响晶圆制程中每一吋面积的成败。