鑽石基板/鑽石晶圓

  • CVD鑽石是採用化學氣相沉積法製造。
  • 鑽石擁有目前已知材料中最高的熱導率,能有效快速地散熱。
  • 適用於各類精密切割工具、工業鋸片及鑽孔器材、光學窗口、透鏡、高性能光學元件、化工、醫療器械與植入式裝置。
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鑽石基板/鑽石晶圓

Diamond Substrate/Diamond Wafer

宏崴實業提供客製化服務,

為您製作最適合的鑽石基板/鑽石晶圓

 

產品特點:

  • CVD鑽石是採用化學氣相沉積法製造。
  • 鑽石是目前已知材料中最高的熱導率,能有效快速地散熱。
  • 擁有優異的耐磨損和抗損壞能力。適用於各類高耐久應用,包括精密切割工具、工業鋸片及鑽孔器材。
  • 在廣泛波長範圍內具有高透明度,且擁有低吸收率,成為光學窗口、透鏡及高性能光學元件的理想材料。
  • 對酸、鹼等多數化學物質高度抗腐蝕,即使在嚴苛的化工環境中亦能長時間保持穩定性能。
  • 對人體組織無毒且無排斥反應,廣泛應用於醫療器械與植入式裝置。

應用領域:

  • 熱界面材料(TIMs):鑽石晶圓可用作晶片、模組與散熱器之間的高效熱界面材料,有效降低熱阻,顯著提升熱傳導效率,確保設備穩定運行。

  • 電子封裝與基板:在半導體封裝領域中,鑽石晶圓提供卓越的散熱性能,支援元件在高功率密度環境下持續運作,進一步推動電子產品的小型化與高性能化。

  • 伺服器應用:可作為高功率元件如:GaN或SiC晶體的理想熱擴散層,有效降低結構內部溫升,延長元件壽命並提升系統可靠性。此外,其優異的機械強度與耐高溫特性,也相當適用於先進封裝技術如:2.5D/3D堆疊與資料中心的高效能運算平台。
  • LED與光電組件:應用於LED、光電元件等領域,鑽石晶圓可大幅改善熱管理,延長元件壽命,同時提升發光亮度與能源效率,滿足高端光電應用需求。

  • 絕緣基板:CVD鑽石晶圓用作高性能半導體的絕緣基板。它們的電絕緣性和高熱導率使其成為功率元件和RF(射頻)元件的理想選擇。 

  • 醫療器材:工業用鑽石也用於一些醫療領域,如高精度手術器材、牙鑽等,由於鑽石的硬度高、耐磨性好,可以提高醫療器材的使用壽命和精確度。

產品規格:

等級 光學級 散熱片等級
鑽石類型 單晶 多晶
晶圓尺寸 最大15*15mm²,可客製化 2吋,可客製化
粒徑 ≤10μm
直徑公差 ﹢0.1,-0毫米 ﹢0.1,-0毫米
厚度 0.3-1.5毫米
拋光後厚度 0.1~2毫米 0.2-1.0毫米
厚度公差 ±0.02毫米≤10毫米

 ±0.03毫米 ,10~15毫米

±50μm
結晶方向 100
表面處裡- 拋光,Ra<2nm
生長面粗度 <100nm Ra
形核面粗度 <30nm Ra
標準厚度 300μm

※有任何客製需求,歡迎洽詢客服聯絡宏崴

物理性質

等級 光學級 散熱片等級
鑽石類型 單晶 多晶
密度 3.52克/立方厘米 3.52克/立方厘米
拉曼半峰全寬(FWHM) ~2.1 cm⁻¹
氮濃度 <0.5 ppm
熱導率 1900~2200 W/(m·K)  300K 1200~2000 W/(m·K)  300K
透射率 >70%  1064 nm
折射率 2.379 @ 10.6 微米
楊式模量 850GPa
化學穩定性 不溶於所有的酸和鹼
斷裂強度 350GPa
平行度 <4μm/cm

 

鑽石規格比較

單晶CVD鑽石晶圓

多晶CVD鑽石晶圓

結構 單一、連續的晶體結構 多個隨機取向的小晶體
機械性質 卓越的硬度、強度和耐磨性 強度較低,受晶界影響
熱導率 更高,散熱性能優異 較低(由於晶粒邊界)
光學特性 卓越的光學清晰度和精度 淨度較低,可能有缺陷
電氣性能 高度可控、依方向而定 各向同性較高,控制性較低
應用 電子、光學、高性能應用 工業工具、散熱器、磨料、散熱材料

 

鑽石與其他常見紅外材料的性能對比

物理性質  單位 鑽石 (Diamond) 硒化鋅 (ZnSe) 硫化鋅 (ZnS) 鍺 (Ge) 矽 (Si) 砷化鎵 (GaAs) 氧化鋁 (Al₂O₃)
帶隙 

(Band gap)

eV 5.48 2.7 3.9 0.664 1.11 1.42 9.9
截止波長 

(Cut-off wavelength)

μm 20 14 23 5.5
吸收係數 

(Absorption coefficient) 

0.1~0.3 0.005 0.2 0.02 0.35 0.01
吸收係數 

(Absorption coefficient) 

10.6 μm 0.1~0.6 0.0005 0.2 0.02
顯微硬度 

(Microhardness)

kg/mm² 8300 137 230 780 1150 721 190
折射率 

(Refractive index)

2.38 2.40 2.19 4.00 3.42 3.28 1.63
dn/dT 10⁻³/K 1.0 6.4 4.1 40 13 15 1.3
熱導率 

(Thermal conductivity)

W/(cm·K) 18~22 0.19 0.27 0.59 1.63 0.55 0.35
熱膨脹係數 (Coefficient of thermal expansion) 10⁻⁶K⁻¹ 光學級 1.3 7.6 7.9 5.9 2.56 5.9 5.8
散熱片等級 0.8~1.0

 

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