HWD25 晶圓電鑄划片刀

  • 適用於矽晶圓、氧化物晶圓及碳化矽(SiC)、砷化鎵(GaAs)、磷化鎵等各種化合物晶圓精密切割加工。
  • 複合矽片、電子材料、樹脂、金屬、陶瓷、複合材料等。
  • 適用於切割或開槽,特別用於晶圓切割、半導體封裝加工。
  • 用於半導體晶圓划片製程階段。
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HWD25 晶圓電鑄划片刀

宏崴實業提供客製化服務,

為您製作最適合的晶圓電鑄划片刀

 

適用於半導體晶圓、封裝基板及LTCC、PZT、TGG等各種硬脆材料的加工。

產品特點:

  • 高精度加工能力:採用高剛性電鑄結構與嚴密控製的刀刃幾何形狀,確保切割線寬穩定一致,實現高精度、高良率的微米級加工。
  • 超窄切縫設計:超窄切痕寬度,最小可達 10 μm滿足如 GaAs LED 等高密度排版、窄街區晶圓之切割需求,提升晶圓利用率並降低材料損耗。
  • 適用於多種晶圓材料,包括:單晶矽(Silicon)、二氧化矽、氮化矽等氧化物晶圓碳化矽(SiC)、砷化鎵(GaAs)、磷化鎵(GaP)等 III-V 族化合物半導體。
  • 優異的刀刃壽命與穩定性:刀刃具備優異的化學穩定性,可有效抵抗濕式或 CO₂ 輔助切割環境中的腐蝕風險,大幅延長刀片使用壽命。
  • 超窄鑽石微粉末粒徑分佈,搭配高一致性晶型選擇:嚴選高等積體(compact)鑽石晶型與均勻粒徑分佈,確保加工面潔淨度與切割穩定性,提升成品良率。
  • 高刀刃強度與剛性設計:適用於高轉速作業環境,能有效防止切割時出現「蛇形紋」等偏移現象,同時確保晶粒側壁具備良好垂直度與整齊性。
  • 可客製化刀片規格:提供不同刀片厚度、外徑、刀刃形狀與金屬基體硬度,以滿足各類晶圓尺寸與切割需求。

用途:

  • 適用於切割或開槽,特別用於晶圓切割、半導體封裝加工。
  • 用於半導體晶圓划片製程階段。

應用領域:

  • 適用於矽晶圓、氧化物晶圓及碳化矽(SiC)、砷化鎵(GaAs)、磷化鎵等各種化合物晶圓精密切割加工。
  • 複合矽片、電子材料、樹脂、金屬、陶瓷、複合材料等。

訂購划片刀時請指明下列事項:

  • 划刀片之形狀及各部尺寸:
  • 刀刃露出量(um):例如:Z(250-380)
  • 切縫寬度:例如:A(16-20)
  • 粒度:例如:#1800
  • 結合劑:例如:N 通用型
  • 濃度:例如:90
  • 用途:碳化矽(SiC)、砷化鎵(GaAs)、磷化鎵晶圓用
  • 數量及交期:
  • 轉速及加工條件:
  • 加工設備型號:
  • 多數製造商都會在划片刀上標示以下資訊,規格範例:CB 3000N70
刀刃露出量(um) 切縫寬度(um) 粒度 結合劑 濃度(體積濃度)
Z  250-380

A 385-510

B  510-640

C  640-760

D  760-890

E  890-1020

F  1020-1150

G  1150-1270

Z  11-15

A  16-20

B  20-25

C  25-30

D  30-35

E  35-40

F  40-50

G  50-60

#1000

#1500

#1700

#1800

#2000

#2500

#3000

#3500

#4000

#4500

#4800

#5000

S 鋒利型

N 通用型

H 高強型

50

70

90

110

130

來圖範例:

 

產品技術優勢:

嚴選高等積體(compact)鑽石晶型與均勻粒徑分佈,確保加工面潔淨度與切割穩定性,提升成品良率。

透過精準控制鑽石濃度分檔,HWD25 系列能有效平衡加工穩定性與刀具壽命,特別在降低晶圓背崩(chipping)方面展現出色表現,實現高良率、高可靠度的切割成效。

高精度製程可減少切割前的調整與預校時間,同時在高轉速作業下有效降低刀刃跳動與振動,提升機台運轉穩定性。

刀刃具備優異的化學穩定性,可有效抵抗濕式或 CO₂ 輔助切割環境中的腐蝕風險,大幅延長刀片使用壽命。

超窄切痕寬度,最小可達 10 μm滿足如 GaAs LED 等高密度排版、窄街區晶圓之切割需求,提升晶圓利用率並降低材料損耗。

適用於高轉速作業環境,能有效防止切割時出現「蛇形紋」等偏移現象,同時確保晶粒側壁具備良好垂直度與整齊性。

使用案例:

8吋IC矽晶圓,切道含有金屬,無激光灼燒

注意事項:

  • 檢查划片刀:安裝前務必仔細檢查划片刀是否有裂痕或缺口,若發現損傷應立即停止使用,以防發生危險。
  • 確認旋轉方向:確保划片刀上的旋轉方向標示與機台主軸的實際旋轉方向一致,反向使用會影響切割效果和刀片壽命。
  • 選用正確刀片:僅使用符合工具機規格和加工條件的划片刀,避免因規格不符導致加工失敗或設備損壞。
  • 立即停機:在加工過程中,如果出現異常聲音、振動或切割不順暢等情況,應立即停止機台運作,並找出原因後再繼續作業。
  • 定期修整:當發現切割效率降低時,應對刀片進行修整,持續使用鈍化的刀片可能導致過熱、過載甚至破裂。
  • 禁止觸摸:划片刀旋轉時,嚴禁以手或其他身體部位接觸,以免造成人身傷害。

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