超精密加工種類

精研 

是光學上的砂磨，指把工件的表面粗糙度研磨到可進行拋光作業的程度。 使用氧化鋁、SIC之類磨料與鑄鐵或鋁質研磨用定盤加工玻璃透鏡等。精研常用形狀精度正確的鑄鐵製定盤，對工件與定盤間補給研磨劑和研磨液，兩者相對運動把定盤形狀轉印給工件。

分為平面精研、球面精研、圓孔精研。 若精研作業形成傷痕，原因可能為環境汙染，異物混入磨料，或研磨壓力不均。

精密模具之類的小工件，如刻模放電加工、 非單純的平面或球面，無法進行高效率精研，面粗糙度也粗到無法以游離模料壓潰，所以用磨石研磨，磨石分為WA(氧化鋁)系、SIC系，後者特別硬，用力過度容易造成傷痕，防止磨石造成研磨傷痕須從軟磨石開始，且不要用大磨石，再充分補給研磨油，並減小移動磨石的行程。

拋光

是透過研磨產生光澤，是研磨的最終工程，加工量甚微，也無需定盤。拋光具的基材是用白樫、美國松、桐，柳等木材製成的木棒作為研磨具，WS也可用壓克力、耐隆、PBT之類的塑膠棒，鋼系的拋光原則上用鑽石膏進行。拋光作業使工件失正的主要原因是工件有傷痕，可能是加工發生的微裂痕、碰撞、材料缺陷，研磨力過大，總之研磨件須慎重處置，以免受傷。

工件在研磨途中或終了，主要測定或評價下列三項:

• 外觀
• 面精度
• 尺寸精度

尺寸精度大多以目視法及顯微鏡進行定性評價，有憑經驗的主觀定性評價、用測定機的嚴密定量評量，也有用量規等以嵌合觸感等決定合格與否，研磨面的檢查也分成一般性方法與光學方法。

將一般模具研磨到光學面會使研磨成本增高，模具即使形狀稍失正，也常是光滑即可，流道若不影響樹脂流動或脫模，留有磨痕也不大成問題，另外，光學用品若憑感覺研磨，昂貴的工件也會成廢品，必須了解工件的材質硬度、研磨留量、形狀精度要求，才能有效率的達到合理的規範。

超精密加工機

超精密加工機大別可分為兩種，一個是非球面創成機，可將工件創成所需形狀，並具有研磨機能；另一個是超精密機械加工機，藉由磨削、切削加工達成最終面精度。

非球面創成機

非球面創成機適合製作天體望遠鏡的控制方式初期為仿削方式，中期為打孔帶控制方式，最新為電腦控制，適用工件為大型且形狀單純、旋轉軸對稱的，極高精度，但加工速度極慢、裝置價格高，為專用機不可搬移，也不適於加工小工件

超精密機械加工機

超精密機械加工機的控制方式為電腦控制，可加工鋁、不鏽鋼、金銀、各種結晶體、塑膠等素材，工件保持法大都為真空夾持方式，環境需恆溫、恆濕、恆壓、無塵，切削工具則是使用鑽石單結晶車刀、磨削用鑽石、CBN燒結砂輪，或塗覆砂輪。但由於加工速度不快，並且工件材質有限、裝置價格高、設置場所有限，難免發生加工痕。