矽晶圆用倒角磨削砂轮
宏崴实业提供客制化服务,
为您制作最适合的矽晶圆、蓝宝石晶圆用倒角磨削砂轮
专用于半导体材料基板倒角与磨削加工的高性能砂轮,具备均匀且细微的磨粒层结构,并采用高精度精加工技术制成。
经修整后,具备低缺陷率、优异的品质与卓越的加工精度。
产品线涵盖适用于外周及凹槽加工的标准砂轮,并提供单槽型、多槽型及精粗加工混合型等三种砂轮款式,满足各类加工需求。
产品特点:
- 具备优异的形状保持力,满足矽晶圆倒角加工对高精度与稳定性的严格要求。
- 采用金属结合剂设计,有效提升耐磨耗性能,大幅延长使用寿命,降低更换频率。
- 在长时间运转下仍可维持稳定的研削性能,确保加工品质均一、稳定。
- 可依客户需求提供单沟或多沟设计,并整合粗磨与细磨功能于一体,满足不同制程条件。
- 综合高寿命、低修整频率与稳定加工能力等优势,助力降低整体加工成本。
用途:
- 多为金属结合剂砂轮、电铸结合剂砂轮。
- 矽晶圆及化合物半导体的倒角磨削。
- 对应多家代表性晶圆倒角机厂商之最新型设备,确保高兼容性与稳定加工表现。
应用领域:
- 半导体材料基板的倒角磨削加工用砂轮。
- 适用于V形、R形、单槽或连续凹槽等各种类加工。
订购砂轮时请指明下列事项:
- 砂轮之形状及各部尺寸:如1A1、14A1
- 磨料种料:金刚石
- 粒度:例如:#150
- 集中度:例如:C-75
- 结合剂:例如:电铸结合剂或金属结合剂
- 砂轮款式:单槽型、多槽型及精粗加工混合型
- 用途:矽晶圆、蓝宝石晶圆用
- 数量及交期:
- 转速及加工条件:
- 加工设备型号:
- 多数制造商都会在砂轮上标示以下信息:
磨料种类 | 150 粒度 | N 结合度 | 75 集中度 | R 结合剂 | 3.0 磨料层厚度 |
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D : 天然金刚石 SD : 人造金刚石 | #60 #80 #100 #150 #200 #270 #325 #400 #600 | J / 軟 L N P R / 硬 | 25 50 75 100 125 150 | M: 金属结合 P: 电铸法 | 1.0mm 1.5mm 2.0mm 3.0mm 5.0mm 10.0mm |
来图范例
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