超精密加工种类

精研 

是光学上的砂磨，指把工件的表面粗糙度研磨到可进行抛光作业的程度。 使用氧化铝、SIC之类磨料与铸铁或铝质研磨用定盘加工玻璃透镜等。精研常用形状精度正确的铸铁制定盘，对工件与定盘间补给研磨剂和研磨液，两者相对运动把定盘形状转印给工件。

分为平面精研、球面精研、圆孔精研。 若精研作业形成伤痕，原因可能为环境污染，异物混入磨料，或研磨压力不均。

精密模具之类的小工件，如刻模放电加工、 非单纯的平面或球面，无法进行高效率精研，面粗糙度也粗到无法以游离模料压溃，所以用磨石研磨，磨石分为WA(氧化铝)系、SIC系，后者特别硬，用力过度容易造成伤痕，防止磨石造成研磨伤痕须从软磨石开始，且不要用大磨石，再充分补给研磨油，并减小移动磨石的行程。

抛光

是透过研磨产生光泽，是研磨的最终工程，加工量甚微，也无需定盘。抛光具的基材是用白㭴、美国松、桐，柳等木材制成的木棒作为研磨具，WS也可用压克力、耐隆、PBT之类的塑胶棒，钢系的抛光原则上用钻石膏进行。抛光作业使工件失正的主要原因是工件有伤痕，可能是加工发生的微裂痕、碰撞、材料缺陷，研磨力过大，总之研磨件须慎重处置，以免受伤。

工件在研磨途中或终了，主要测定或评价下列三项:

• 外观
• 面精度
• 尺寸精度

尺寸精度大多以目视法及显微镜进行定性评价，有凭经验的主观定性评价、用测定机的严密定量评量，也有用量规等以嵌合触感等决定合格与否，研磨面的检查也分成一般性方法与光学方法。

将一般模具研磨到光学面会使研磨成本增高，模具即使形状稍失正，也常是光滑即可，流道若不影响树脂流动或脱模，留有磨痕也不大成问题，另外，光学用品若凭感觉研磨，昂贵的工件也会成废品，必须了解工件的材质硬度、研磨留量、形状精度要求，才能有效率的达到合理的规范。

超精密加工机

超精密加工机大别可分为两种，一个是非球面创成机，可将工件创成所需形状，并具有研磨机能；另一个是超精密机械加工机，借由磨削、切削加工达成最终面精度。

非球面创成机

非球面创成机适合制作天体望远镜的控制方式初期为仿削方式，中期为打孔带控制方式，最新为电脑控制，适用工件为大型且形状单纯、旋转轴对称的，极高精度，但加工速度极慢、装置价格高，为专用机不可搬移，也不适于加工小工件

超精密机械加工机

超精密机械加工机的控制方式为电脑控制，可加工铝、不锈钢、金银、各种结晶体、塑胶等素材，工件保持法大都为真空夹持方式，环境需恒温、恒湿、恒压、无尘，切削工具则是使用金刚石单结晶车刀、磨削用金刚石、CBN烧结砂轮，或涂覆砂轮。但由于加工速度不快，并且工件材质有限、装置价格高、设置场所有限，难免发生加工痕。