Предисловие

В производстве полупроводников шлифовка и полировка пластин являются ключевым процессом, обеспечивающим качество поверхности пластины. Однако проблемы, связанные со стрессом, возникающие в ходе процесса, могут повлиять на физические свойства пластины и производительность устройства.

Понимание и эффективное управление этими стрессовыми проблемами имеют решающее значение для повышения эффективности производства и качества продукции. В этой статье мы рассмотрим источники стресса, факторы влияния и стратегии оптимизации, которые предоставят вам практические решения.

Что такое стресс?

• Определение: Сила на единицу площади.
• Причина: Когда на объект воздействует внешняя сила, внутри объекта возникают внутренние силы сопротивления. Эти внутренние силы представляют собой напряжение на единицу площади.
• Категории: Обычно делятся на две категории: нормальное напряжение (ортогональное) и касательное напряжение (параллельное друг другу), которые изменяются в зависимости от деформации объекта.

Источники и последствия стресса

1. Напряжение при механическом шлифовании

• Источник: Напряжение сдвига и давление, возникающие при контакте шлифовальной головки с поверхностью пластины.
• Удар: вызывает поверхностную пластическую деформацию и остаточное напряжение, влияющее на плоскостность и шероховатость поверхности.

2. Напряжение при химико-механической полировке (ХМП)

• Источник: Поток химических растворов и шлифовальных жидкостей и воздействие абразивов.
• Удар: создает дополнительное напряжение и прикладывает неравномерную силу к поверхности пластины.

3. Влияние материалов пластин

• Монокристалл: Монокристаллические кремниевые пластины изотропны.
• Поликристаллический: Поликристаллические кремниевые пластины вызывают межзеренные напряжения из-за границ раздела между зернами.

Анализ влияния стресса

1. Влияние на качество поверхности пластины

• Плоскостность: Напряжение может вызвать неравномерную пластическую деформацию поверхности пластины.
• Шероховатость: влияет на шероховатость поверхности, которая, в свою очередь, влияет на оптические характеристики.

2. Влияние на электрические свойства

• Параметры устройства: структура устройства и электронные компоненты чрезвычайно чувствительны к нагрузкам и могут привести к изменению параметров производительности.
• Выход продукции: Снижение производительности может повлиять на выход продукции и общую эффективность производства.

Стратегия оптимизации

1. Оптимизировать параметры обработки

• Отрегулируйте твердость и форму шлифовальной головки: выбор подходящей шлифовальной головки может снизить нагрузку.
• Контролируйте расход и концентрацию полирующей жидкости: убедитесь, что расход и концентрация полирующей жидкости соответствуют оптимальным требованиям процесса и снижают нагрузку.

>>>Полировальная жидкость смотрите здесь

>>>Области применения расходных материалов для полировки смотрите здесь: таблица материалов полировки и соответствующих абразивов для финишной обработки

2. Многоэтапный процесс шлифования

• Поэтапная шлифовка и полировка: Многоэтапный процесс шлифовки и полировки позволяет постепенно снизить напряжение и получить более гладкую поверхность.

3. Локальное отопление

• Термическая обработка: локальное нагревание в процессе шлифовки и полировки может изменить физические свойства пластины и снизить воздействие напряжений.

4. Стратегия цепочки поставок и закупок

• Выберите правильного поставщика: убедитесь, что вы используете высококачественные шлифовальные материалы и оборудование.
• Оптимизируйте процесс закупок: разумно корректируйте план закупок в соответствии с производственным спросом и требованиями процесса.

Практические советы

1. Установите стандартные рабочие процедуры (СОП): обеспечьте соответствие всех операций шлифования и полировки стандартам, чтобы уменьшить отклонения и проблемы со стрессом.
2. Регулярное обучение: проводить обучение производственных бригад по управлению стрессом и оптимизации процессов.
3. Постоянное совершенствование: регулярно оценивайте и оптимизируйте процесс шлифовки и полировки, а также вносите коррективы на основе фактических производственных данных.

Подвести итог

Проблемы со стрессом во время шлифовки и полировки пластин оказывают огромное влияние на качество производства полупроводников. Оптимизируя параметры обработки, выбирая высококачественные полировальные материалы, многоэтапные процессы и стратегии локального нагрева, можно эффективно контролировать напряжение и улучшать качество и эксплуатационные характеристики пластин. Не менее важно сосредоточиться на стратегиях цепочки поставок и закупок, чтобы обеспечить эффективность и стабильность всего производственного процесса.

Что касается измельчения, мы предлагаем индивидуальные настройки и можем регулировать соотношение в соответствии с требованиями обработки для достижения максимальной эффективности.

Если после прочтения текста вы все еще не знаете, как выбрать наиболее подходящий вариант.

Добро пожаловать, свяжитесь с нами, у нас есть кто-то, кто ответит на ваши вопросы.

Если вам нужна индивидуальная расценка, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Часы работы службы поддержки клиентов: с понедельника по пятницу с 09:00 до 18:00.

Тел: 07 223 1058

Если у вас есть какие-либо вопросы или вопросы, на которые вы не смогли ответить по телефону, пожалуйста, отправьте мне личное сообщение на Facebook~~

Фейсбук Хоневэй: https://www.facebook.com/honwaygroup