실리콘 웨이퍼용 챔퍼 연삭휠
HonWay는 맞춤형 서비스를 제공하여
고객님의 실리콘 웨이퍼 및 사파이어 웨이퍼 가공에 가장 적합한 챔퍼 연삭휠을 제작해드립니다.
반도체 소재 기판의 챔퍼 및 연삭 가공에 특화된 고성능 연삭휠로, 균일하고 미세한 연마 입자층 구조를 갖추고 있으며, 고정밀 가공 기술로 제작됩니다.
드레싱 후에는 결함률이 낮고 품질이 우수하며, 가공 정밀도가 뛰어난 성능을 발휘합니다.
제품 라인업은 외경 및 그루브 가공용 표준 연삭휠을 포함하며, 단일 홈형, 다중 홈형, 정밀/조가공 혼합형 등 세 가지 타입으로 제공되어 다양한 가공 요구에 대응 가능합니다.
제품 특징:
- 우수한 형상 유지력을 갖추고 있어, 실리콘 웨이퍼 챔퍼 가공 시 요구되는 고정밀 및 고안정성 조건을 충족합니다.
- 금속 결합제를 사용한 설계로 뛰어난 내마모성을 실현하였으며, 수명이 크게 향상되어 교체 빈도를 낮출 수 있습니다.
- 장시간 연속 운전 시에도 안정적인 연삭 성능을 유지하며, 가공 품질의 균일성과 일관성을 보장합니다.
- 고객 요구에 따라 단일 그루브 또는 다중 그루브 디자인을 제공할 수 있으며, 조연삭과 정연삭 기능을 통합하여 다양한 공정 조건에 대응합니다.
- 긴 수명, 낮은 드레싱 빈도, 안정된 가공 능력 등 복합적인 장점을 통해 전체 가공 비용 절감에 기여합니다.
용도:
- 주로 금속 결합제 연삭휠 및 전해 도금 결합제 연삭휠로 구성됩니다.
- 실리콘 웨이퍼 및 화합물 반도체의 챔퍼 연삭 가공에 적합합니다.
- 다수의 대표적인 웨이퍼 챔퍼 장비 제조사의 최신 장비와 호환되도록 설계되어, 높은 호환성과 안정적인 가공 성능을 보장합니다.
응용 분야:
- 반도체 재료 기판의 챔퍼 연삭 가공용 연삭휠입니다.
- V형, R형, 단일 홈 또는 연속 홈 등 다양한 형상의 가공에 적합합니다.
연삭 휠을 주문하실 때는 아래 사항을 명시해 주세요:
- 연삭 휠의 형태 및 각 부위 크기: 예: 1A1, 14A1
- 연마재 종류: 다이아몬드
- 입도: 예: #150
- 집중도: 예: C-75
- 결합제: 예: 전해 도금 결합제 또는 금속 결합제
- 연삭휠 형식: 단홈형, 다홈형 및 정밀/조잡 연삭 혼합형
- 용도: 실리콘 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼용
- 수량 및 납기:
- 회전 속도 및 가공 조건:
- 가공 장비 모델:
- 대부분의 제조업체는 연삭 휠에 다음 정보를 표기합니다:
연마재 종류 | 150 입도 |
N 결합도 |
75 집중도 |
R 결합제 |
3.0 연마재 층 두께 |
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D : 천연 다이아몬드 SD : 인조 다이아몬드 |
#60 #80 #100 #150 #200 #270 #325 #400 #600 |
J / 소프트 L N P R / 하드 |
25 50 75 100 125 150 |
M: 금속 결합 P: 전해 도금 방식 |
1.0mm 1.5mm 2.0mm 3.0mm 5.0mm 10.0mm |
도면 예시
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