ウェーハ表面研削ホイール
Honway はカスタマイズされたサービスを提供します。
ウェーハ表面研削に最適な研削ホイールを製作します
特徴：
- さまざまなプロセス要件を満たすために、さまざまなウェーハ材料に適用できます。
- 安定した高い材料除去率を備え、処理時間を効果的に短縮し、生産効率を向上させます。
- 優れた摩耗制御設計により、研削ホイールの耐用年数が長くなります。
- 研削加工時の研削抵抗が低いため、設備やワークを保護し、加工品質を安定させることができます。
用途：
- シリコンウェーハの平坦化
- 裏面研削
応用分野：
- シリコン半導体ウェハー、化合物半導体ウェハー、セラミックウェハー（アルミナ、AlN）。
- ワイドバンドギャップ半導体ウエハ（SiC、GaN）、表面弾性波フィルタウエハ（LT、LN）、サファイアガラスウエハ。
- TSV封裝晶圓（銅/化合物）。
砥石をご注文の際は、下記をご指定ください。
- 砥石の形状と寸法：例えば1A1、14A1
- 研磨材：ダイヤモンド
- 粒度：例えば #150
- 集中度：例えば：C-75
- ボンド：例えば、樹脂ボンドやガラスボンド
- 冷却方法：乾式または湿式研磨
- 数量と配達：
- 回転速度と加工条件：
- 処理装置型式：
- ほとんどのメーカーは、研削砥石に以下の情報を表示している：
| 研磨剤の種類 | 150 粒度 | N 組み合わせの度合い | 75 集中 | R バインダー | 3.0 磨料層厚度 |
|---|---|---|---|---|---|
| D：天然ダイヤモンド SD：合成ダイヤモンド | #60 #80 #100 #150 #200 #270 #325 #400 #600 | J / ソフト L N P R / ハード | 25 50 75 100 125 150 | R: 樹脂結合 V: セラミック方式 | 1.0mm 1.5mm 2.0mm 3.0mm 5.0mm 10.0mm |
サンプル写真
仕様比較
WH-BH7
この研削ホイールは自己研磨効果が優れているため、ドレッシングなしでは研削が困難なエッチング面でもドレッシングなしで連続研削が可能です。高性能結合剤と砥石設計の採用により、研削抵抗が小さく、耐用年数が長く、高い研削比が得られます。
WH-BH14
この研削ホイールは、研削抵抗を低減する充填剤と多孔質構造を採用しているため、非常に低い負荷で研削作業を完了できます。ウェーハを研削する際、ダメージを最小限に抑え、良好な表面処理品質が得られます。
WH-VDW
このホイールは、細かいダイヤモンド粒子を均等に分散させることに成功し、ビトリファイド結合で発生しやすい傷の問題を解消します。ビトリファイド結合剤は強力な研磨剤保持力を有し、高精度な鏡面仕上げを実現します。
また、この研削砥石は、研削抵抗の増加を抑えることができる多孔性研削砥石である。。
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