知識コラム

優化晶圓研磨拋光過程中的應力控制

ウェーハの研削および研磨中の応力制御の最適化:半導体製造品質を向上させるための実践ガイド

ウェーハの研削と研磨における応力の問題は、半導体製造の品質にとって重要です。 応力は、機械的研削、化学機械研磨(CMP)、およびウェーハ材料の特性から発生し、ウェーハの表面平坦度、粗さ、および電気的特性に影響を与える可能性があります。 これらのストレスを管理するために、加工パラメータの最適化、多段階プロセスの採用、局所加熱、適切なサプライヤーの選択により、改善を行うことができます。 標準的な作業手順の確立、定期的なトレーニング、継続的な改善はすべて、生産効率と製品品質を向上させるための重要な戦略です。

研磨-磨料介紹與代號

研磨-研磨材紹介

研磨材は、硬度、靭性、強度、熱安定性、化学的安定性、製造性などの特性を備えている必要があります。 1.高硬度:研磨材の硬度は、ワークピースの硬度よりも高くなければなりません2.靭性:粒子や衝撃による亀裂に耐える能力、および適切な靭性は、研磨材のマイクロエッジの切削効果を確保でき、不動態化後に新しい切削マイクロエッジを生成することができます。 3.研磨材の化学組成:研磨材の品質と性能を反映する主な指標。 純度が高いほど、特性は良くなります。 アルミナ研磨剤は、アルミナと不純物の含有量によって区別されます。 4.熱安定性(強度):高温でも必要な物理的および機械的特性を備えています。 研削ゾーンの温度は通常400〜1000°C5の熱安定性(安定)であるため、化学反応は安定しており、接着や拡散が発生しにくいため、金型が詰まったり不動態化したりします。 6.造粒プロセス:研磨剤の種類はきちんと均一でなければならず、形状は規則的でなければなりません。 7.機械的強度:A.繰り返し研削力B.衝撃荷重C.研削温度の影響を受ける必要があるため、ABCの影響に耐えるには一定の機械的強度が必要です。 8.研磨材は高い粒子サイズを持つべきです

研磨拋光選用與表面粗糙度對照表

研削・研磨・表面粗さ比較表

表面品質は、製品製造において非常に重要な要素である。 表面粗さとは、機能性や耐久性に影響する表面の小さな起伏のことで、仕上がりとは、表面が滑らかで光が反射する度合いを表す。 粗さは仕上がりに影響し、表面が粗いほど仕上がりは低くなる。 仕上がりを向上させるためには、しばしば研磨材を使用して細かな凹凸を取り除き、より滑らかな表面を実現する必要があります。 これらの概念を理解し、粗さと仕上がりを効果的にコントロールすることは、性能を高めるだけでなく、外観も向上させる高品質の製品を確保するための重要なステップです。

RA與SA的差異

RAとSAの違い

粗さRA(算術平均粗さ)とSA(総合粗さ)は、表面粗さの2つの測定値です。 RAは、測定の長さにわたってすべてのポイントからベースラインまでのサーフェス等高線の絶対偏差の平均を計算することにより、サーフェスの滑らかさを評価するために最も一般的に使用される2D粗さパラメータです。 平面の粗さ検査に適しています。 SAは、表面プロファイルの高さの変化やその他の特性を考慮して、3次元の表面粗さの複合材料であり、高精度の製造や光学表面処理など、より複雑な表面分析によく使用されます。 SAは、詳細な3Dデータを必要とするアプリケーション向けに、より包括的な表面粗さ情報を提供します。

表面粗糙度陷阱

表面粗さの用語と定義

表面粗さは業界標準ですが、よく見ると、同じRA値でも波形が異なる場合があり、歩留まりを向上させるためには、他にどのような方法で測定を改善できるかを理解する必要があります

表面粗さとは何か?

「表面粗さ 「は、エンジニアリングや製造において重要な役割を果たしています。 表面粗さは、表面の平滑性の程度を表すもので、気密性、フィット感、剛性など、ワークピースのさまざまな特性に影響を与えます。」表面粗さ “は、表面の粗さの程度を測定します。 表面の平坦度」とは対照的に、表面粗さは表面の粗さの程度を測定するもので、精密なはめあいや接触が要求される部品では特に重要です。 極端な平滑性ではなく、「適切な表面粗さ」の必要性を理解することは、さまざまな用途のニーズを満たすために不可欠である。

鑽石砂輪與CBN砂輪怎麼選擇?

ダイヤモンド砥石とCBN砥石の選び方は?

砥石砥粒は一般砥粒と超砥粒に分けられ、ダイヤモンド砥粒とCBN砥粒は超砥粒で、硬度が非常に高いため、高硬度材料の研削に適している。 ダイヤモンド砥石は、鉄元素を含む工作物には使用しないこと。鉄元素はダイヤモンドの黒鉛化を触媒しやすく、研削効果に影響を与え、砥石を摩耗させるからである。 研削温度が600℃を超えると、ダイヤモンドが溶解したり炭化物を生成しやすくなるため、高温加工には適さない。 これに対し、CBN砥石は高速加工や工具鋼、金型鋼などの鉄元素加工に適しており、独自の優位性を発揮する。 技術の進歩により、加工精度の要求が高まっており、必ずしも最も高価な砥石が最適というわけではなく、最適な砥石を選択することが重要である。

石榴石

ガーネットは宝石であると同時にハイテク素材でもある?

ガーネットは、ザクロの種を意味するラテン語を起源とする、多用途でカラフルな宝石で、その色と形が似ていることから名付けられた。 青銅器時代から宝石や研磨剤に広く使われてきたケイ酸塩鉱物の一群である。 ロードライトガーネット、マンダリンガーネット、ザクロガーネットなど多くの種類があり、それぞれ独自の化学組成と色の特徴を持っている。 貴重な石であるだけでなく、ガーネットはウォータージェット切断、機械研磨、光学機器など幅広い産業用途に使用されている。 結論として、ガーネットはその多様な用途とユニークな物理的特性により、様々な分野で大きな価値と応用の可能性を秘めている。

青金石

青金石Lapis Lazuli -金よりも高い宝石

ラピスラズリは様々な鉱物を含む岩石で、主にラピスラズリ、方解石、黄鉄鉱からなり、白い部分が方解石、金色の部分が黄鉄鉱である。 その色は、青緑色、青色、紺色から青紫色まであり、アズライトが多くなると鮮やかなサファイアブルーになります。 ラピスラズリは権力と富の象徴として長い歴史があり、古代エジプトやバビロニアの文化で重宝されました。 古代中国では「インペリアル・ブルー」と呼ばれ、西洋では「ウルトラマリン」と呼ばれ、高貴さと威厳を象徴していました。 ラピスラズリは、宝飾品、顔料、医薬品によく使用され、商業的価値が高い。 白や金なしで購入されることが好ましい。

天河石

天河石 Amazonite — ミスティック・リバー・カラーの宝石たち

天河石(Amazonite)青緑色のやや斜めの長石で、アマゾン流域で最初に発見された。 その名は日本語の「天河石」の音訳である。 テンガイシの特徴は、二結晶構造による青緑色と白色の格子模様である。 高品質のものは宝石として、品質の劣るものは彫刻に使われる。 一般的な模造品としては、中国産の銅を含む青緑色の珪岩、通称「貴州翠」があるが、これは硬度が高く、劈開がなく、格子がないことで天河石と区別される。 天河石を選ぶときは、色が純粋で、結晶が透明で内包物が少なく、格子が均一か目立たないものを選ぶとよい。 破損を防ぐため、衝撃は避けてください。 業者は酸洗いで不純物を取り除くことがあるが、これは透明度を高めるが構造を破壊する。 判断の方法としては、重さを比較したり、石の模様を観察したりする。

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