Технология шлифования и полировки полупроводников

В производстве полупроводников шлифовка и полировка являются ключевыми процессами, обеспечивающими достижение поверхностью пластины предельной плоскостности и бездефектной зеркальной отделки. Шлифовка отвечает за точный контроль толщины пластины и удаление грубых поверхностей, в то время как полировка обеспечивает плоскостность на уровне нанометров с помощью таких технологий, как химико-механическая полировка (CMP). Оба процесса имеют решающее значение для производительности интегральных схем. honway подробно изучит различные технологии, проблемы и новейшие разработки в области шлифовки и полировки полупроводников, чтобы помочь вам освоить секреты обработки поверхности пластин.