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SiC 碳化矽晶圓拋光機 530-Overview

貨號: 電洽 分類:

描述

工作原理

本研磨機為精密研磨拋光設備,有4個磨頭可放置4個研磨盤,被研磨材料放於研磨盤上,通過氣缸加壓將研磨材料壓於定盤上,定盤逆時針轉動,通過4個伺服電機的帶動磨頭同時逆時針轉動,工件與研磨盤作相對運轉磨擦,並通過單晶鑽石液噴灑系統提供研磨介質,來達到研磨目的。

產品特點

機械特點:

1)機身整體大部分部件及板金件為不銹鋼材料,可有效的避免在濕度極大的環境中銹蝕。

2)定盤採用SUS410馬氏體不銹鋼材料,具有較高的硬度,韌性,較好的耐腐蝕性,熱強性和冷變形性能,減震性好。

3)此拋光機拋光效率快,多個磨頭,一次可拋光數片。

4)設備採用氣缸加壓的方式,氣缸壓力可根據不同工藝進行設定。

5)定盤採用水冷循環系統,溫度可控制在低溫狀態,解決了磨削過程中產生熱量使工件變形。

6)金剛液噴灑系統可以將研磨介質均勻的噴灑在定盤上,使被研磨材料可均勻的得到研磨介質,達到更好的研磨效果。噴灑時間與間隔時間可根據工藝自行設定,大大減少了研磨液的浪費流失,節約研磨成本。

電器特點:

1)採用先進的程式控制系統,觸控式螢幕操作面板,所有研磨參數及工藝配方可在觸控式螢幕上進行修改設置,可根據設定好的工藝參數自動完成整個拋光過程。

2)人性化的程式設計,確保機床的實用性便捷性,可一人多機控制,有效的提高生產效率滿足量產的需求。

3)變頻控制,實現軟啟動、軟停止、無衝擊。

 

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