結論:
1.YM122のキャビティの傷は、その後の改良の焦点となる。
2.粗さに応じて、ダイヤモンドペーストは100nm、あるいは50nmまで使用すべきである。
3.ダイヤモンドペーストは現状のまま使用可能な状態で輸入できる。
白色光干渉計の結果は付属書にまとめられている。
11/13研磨
>100nmのダイヤモンド ペーストは、わずかに傷があるものの、均一な外観を持ち、許容範囲内であるが、外観に特別な要求がある場合は合格しない。
>50nmのダイヤモンド ペースト研磨で、外観が均一で微細な傷があれば合格とする。
11/18研磨
